等離子清洗機九大常見故障分析及其解決辦法

一、等離子清洗機不發光

可能（néng）原因：1真空（kōng）泵是否正常運行；2、射頻電（diàn）源主板燒壞；

處理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空壓力表值是否達到正（zhèng）常壓力值；如（rú）不能達到正常壓強，則代表（biǎo）氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固（gù）定好；2、打開設備右側麵（miàn）板，檢查射（shè）頻電源主板（bǎn）綠色燈在設備正（zhèng）常運行下是否亮，如（rú）果不亮，請（qǐng）聯係東信高科售後人員進行更換。

二、真空泵（bèng）不工作

可能原因：1、真空泵油（yóu）不（bú）足；2、電機（jī）燒壞；3、真空泵磨損；

處（chù）理（lǐ）措施：1、清洗後，添（tiān）加真空泵油；2、請聯係我公（gōng）司（sī）客（kè）服；

三、清（qīng）洗效果不良

可能原（yuán）因：1、等離子功率不夠；2、選用不適合的反應氣體；

解決措施：1、調節功率旋鈕，提（tí）高功率；2、工藝（yì）氣體是否匹配（pèi）合理；3、谘詢我公司客服；

四、真空泵熱過載保（bǎo）護，請檢（jiǎn）查線路和真空泵故障

1、出現此情況（kuàng）請首先觀察係統參數有無變化，設備突然斷電會引起係統參數歸零，導致設備（bèi）出現此類（lèi）報警；

2、如係（xì）統參數無變化，請確（què）認熱繼電器是否自動保護，按複位鍵，然後啟動真空（kōng）發生（shēng）係統。如沒有自動保護（hù），請檢查電氣線路有無斷路或（huò）短路情況；

3、檢查導線是否有斷路或短路情況；

4、如無上述異（yì）常，請檢查真空泵；

五（wǔ）、放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡

1、如出現此類報（bào）警請檢查腔體底部的（de）破真空所用氣路電磁閥是（shì）否正常工作，線路有（yǒu）無斷路或短路；

六、真空泵倒計時故障（機械（xiè）故障），請檢查真空泵抽空能（néng）力，故障排除點擊複位鍵

1、所處理產品有嚴重滲氣情況，真空（kōng）倒計時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真（zhēn）空；

2、檢查真空門是否關到位（wèi）；

3、逐級檢查真空係統中各連接點，看是否有管道連接不（bú）良或損壞；

4、真空泵（bèng）故障，需檢查保養真空泵；

七、真空計故障報警，真空計故障或損壞，請檢查並（bìng）更換真空（kōng）計

1、檢查真空計是否損壞，檢查真空計控製線路是否有斷路或短（duǎn）路；

八、急停未複位或已按下，請打開急停開關

1、檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停（tíng）線路；

九、 CDA壓力過低（dī）報警（破空氣體壓力低）

1、此報警為壓縮空氣氣壓不足夠報警，主要出現於配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設備，出現此報警時需檢查CDA是否正常供氣（qì）至設（shè）備端；

2、確認供（gòng）氣壓力是（shì）否過高或過低，減（jiǎn）壓（yā）表的報警值是否設定（dìng）正（zhèng）確；

3、檢查電氣線（xiàn）路是否出現（xiàn）斷路或短（duǎn）路；