東信高科真空等離（lí）子清洗機係統（tǒng）維護及保養

東信高科等離子清洗機係統維護及保養手（shǒu）冊

9.3.1檢（jiǎn）查（chá）真空係（xì）統油泵和鼓風機

許多與（yǔ）真空係統（tǒng）相關的問題都出自真空泵油。為了確認（rèn）它（tā）在一個適當的水平和（hé）是否無汙（wū）染（rǎn），定期檢查石油水平是非常（cháng）有必要的。髒和石油不（bú）足都會導致較差的真空泵性能（néng）。汙油也會性能降低。

一些等離子體的處理可能會造（zào）成更大程度的（de）泵油汙染，因此額外的個人防護設備是有必要的。

泵油應（yīng）該被更換至少一年一次，如果機器得到大量使用，這將造成大（dà）量的汙油，因此泵油盡可能的每兩個月更換一次，並（bìng）且泵（bèng）油要每個月（yuè）至少檢查一次（cì）。

檢查泵油,執行下麵（miàn）的步驟（zhòu）:

1.關掉裝置

2.打開前門

3.定位泵油（yóu）位（wèi）窺鏡,並確保（bǎo）石油水（shuǐ）平在最（zuì）大值和最小值之（zhī）間。

注意：泵油是一種對皮膚和眼睛的刺激物（wù），在更換泵油的時候要注意個人防護措（cuò）施。

更換泵油,執行下麵的步驟:

1.等待15分鍾是泵油稍微冷卻然後操作，泵油不可（kě）過冷，不然會不好移除。

2.排泄石油壓強，使之達到標準大氣壓強

3.斷開泵油係統，用幹氮清除泵內殘留有毒或含腐蝕性氣體。

4.向泵油塞方向（xiàng）傾斜

5.旋（xuán）鬆排油管,瀉（xiè）油。

6.安好泵塞運行泵大約10秒鍾，打開進氣口這會使泵油從泵中移（yí）除。

7.再次通過移除塞瀉油。

8.換好新的泵油然後上好泵塞。

注意（yì）：換油（yóu）時一（yī）定（dìng）要關閉等離子（zǐ）體係統電源。

9.3.2 檢測真空泄漏

真空（kōng）泄漏常常可（kě）以發現通過使用異丙醇。通過擦洗揮發性液體檢查可疑部件（jiàn），真空泄露（lù）會吸入蒸汽從而導致顯示麵板上壓力增大，增加5毫托或更（gèng）多（duō）的，表示存在一（yī）個錯誤的真空組件（jiàn）或連接。檢測小泄漏保持流動的異丙醇的組件或連接約10是有必要的。小泄漏將（jiāng）不會顯示快速變濕，流動的異丙醇應該覆蓋在（zài）整（zhěng）個相關組件上，當使用異丙醇是應避免接觸任何有標簽的（de）部位，因為可能會導致刻字（zì）消失

9.3.3清洗反應室

使用者應該每天檢查任何汙垢和（hé）外來物質。

當清洗機室時使用手套和保護眼睛

警告:清洗機（jī）室後,總是產生純氬或氧等離子體應該在高功率下消除至少15分鍾確保清（qīng）潔（jié）室無視覺跡象（xiàng）

1.泵室減少（shǎo）到最低可以達到的壓力並且記錄數據。

2.在（zài）4000瓦和300毫托條件下生成氧等離子體15分鍾

3.在4000瓦和250毫托條件下生成氧等離（lí）子體15分鍾

4.泵室第二次減少到最低可以達（dá）到的壓力並且（qiě）記錄數（shù）據，比較這個值和第一個值（zhí），一個顯著減少在兩比較（jiào）之間則暗示清潔室發生了故障在等離子機運行工作時。

5.重複這個過程,直到（dào）沒有明顯區別（bié）是指出最低基地壓力從（cóng）一個測試值到下一個。

注意（yì）：使用CF4或類似的氣體會引起塗（tú）料的反應（yīng）室和它的組件（jiàn）與這些氣體的副產（chǎn）品，當使用這些類型的（de）氣體處理等離子機時，清洗（xǐ）方案必須經常重複直至刪除副產品，因為他們將很容易再沉積（jī）到幹淨的表（biǎo）麵。

9.3.4  檢查真空裝置的完整性

有必要（yào）定期檢查真空係統的完整性，這種檢查應（yīng）該在徹底的清洗反應室之後，以避免汙染物或（huò）者真空脫氣泄露（lù）。

手動檢查步驟：

1.在主菜（cài）單中,按手動模式按鈕來選擇手（shǒu）動模式

2.在手動模式屏幕,按（àn）下真空開/關按鈕打開真空（kōng）閥室（shì）

3.觀察基礎氣壓，讀取列表在屏幕右邊，在5分鍾內它應該低於100毫托。

4.等20分鍾,使任何殘留的水分退出係統。

5.記錄最終的壓力。

6.按下真空開/關按鈕來關閉真（zhēn）空閥到室。

7.觀察基礎壓力。

如果係統沒有真空密閉的，壓力值會慢慢上升，根據泄露比例係統壓力上升不會超過30豪托每分鍾。

為了確保最佳性能和係統的優良性能，應該成功的運行真空係統進行檢測，如果任何不符合點被檢查出，應該及時檢查室墊（diàn）圈（在塑料門附近）。有時灰塵和汙染物覆蓋在墊片上，也要檢查連接在裏（lǐ）麵的（de）電子內閣是否有明顯的損壞或泄露。

9.3.5 檢（jiǎn）查輸（shū）氣管道完整性

確定（dìng）氣線（xiàn）的完整性，隻需打開氣瓶的閥，並（bìng）很快再次關閉它。如果（guǒ）壓力讀數在一分鍾內調節值，有大量泄漏，可能是危險的。

9.3.6 檢查電源連接

所有的等離子體係統的運作，利用雙浮動功率輸出每個輸出總線電（diàn）極的（de）母線連接電極是由一個不鏽鋼夾和一（yī）個M –4螺（luó）釘，螺釘應定期（qī）檢查密封性保證電極的母線連接的安全性

9.3.7清洗（xǐ）風機過濾器

風扇和過濾器，位於係（xì）統的頂部和底部，保護係（xì）統，需要定期清洗去除灰塵（chén）和皮棉。堵塞的過濾器（qì），會導致（zhì）熱量積（jī）聚。

清潔過濾器執行以下步驟：

1.通過（guò）拆除四個螺絲（sī）分離過濾器的風扇。

2.用壓縮空氣吹洗過濾器，如果過濾器非常髒，需要用肥皂水清洗（xǐ）然後用壓縮空氣吹洗。

3.更換（huàn）墊片和過濾（lǜ）器，確保螺絲孔窩（wō），突（tū）出的屏幕的一側是朝外。（過濾器應被檢查清洗每月一次，這個任務可能在大約二十分鍾。技術援助（zhù）或更換零件（jiàn），請聯係等離子體係統的客戶服務部）。

9.3.8檢查室門墊圈

保持性能良好的真空反應室，室門墊圈是必不可少的

警告:潛在的燃燒危（wēi）險!

警告:反應室墊圈會導致係統真空泄（xiè）漏。當檢查有任何裂紋或碎片在密封表麵和外部（bù）密封焊道裏（lǐ）麵。請及時更換。這個墊圈的平均壽（shòu）命是8到12個月。

檢查室墊片,執行下麵的步驟:

1 從反應室小心（xīn）的把墊片移除下來。

2 拉（lā）開雙方檢查裂縫內（nèi）密封表麵。如果有裂縫,無論多麽（me）小（xiǎo）,都要更換密封墊。

3 檢查（chá）在外麵（miàn）密（mì）封焊道上是否有裂縫（féng）。如果有發現,更換（huàn）密封墊。

4 檢查墊圈外是否有破碎小（xiǎo）顆粒。如果（guǒ）有必須清洗墊圈。墊（diàn）圈可以用溫肥皂水清洗後，再使用酒精進行一個徹底的清洗。

5 檢查墊圈是否有惡化症狀。這是一種粉（fěn）狀物質（zhì）,通常在表麵的墊片（piàn）。重度（dù）惡化會使墊圈會（huì）變得脆弱。這些表明（míng）,矽橡膠被破壞了。墊圈可（kě）以清洗(第4步中（zhōng）所述) 隻要不存在裂縫可以一直使（shǐ）用。

9.3.9 觀察窗（chuāng）口/ 機器維護

觀察窗口由玻璃製成（chéng）(12.7毫米（mǐ）厚)。如它需要更（gèng）換時請聯係東信高科工程（chéng）技術人員。

9.3.10 射頻發生（shēng）器（qì）維護

定期檢查後麵的裝置是否有灰塵或被腐蝕（shí）。

每六(6)個月檢查一次是否有鬆散的電氣連接（jiē）。

9.3.11 電極維護

1 電極是一（yī）個有磨損項目。適當的（de）維護，可以使電極的（de）壽命擴展到最大（dà）的預期使用。

2 當漿（jiāng）水用於處（chù）理烴類原料，薄（báo）塗層殘留往往停留在電極一段時間。在早期階段，這種塗層不影響運行的設備和（hé）最後的產品。但在在（zài）連續操（cāo）作下，微（wēi）妙但重大的變化可以被檢測到

3 確保正確操作設（shè）備，7799天天看影视建議電極每6月或1000小時操作就進（jìn）行一次汙染處理。使用以下過程，消除汙染不影響電極的性能。

材料要求

氫氧化（huà）鈉

硫酸

蒸餾水

注（zhù）意：這些材料腐蝕性，有（yǒu）毒和危險。

隻有經過適當的安全預防措（cuò）施的有相應的訓練的人員（yuán）才能進行處（chù）理。不要使用任何（hé）機（jī）械清潔電極，如鋼絲刷，砂紙，或研磨拋丸這將導致泄漏和/或縮短他（tā）們的生命（mìng）。

清潔電極:

1、確定每個電極下（xià）負極，使它們可以被安裝在正確（què）的位置

2、取出電極，輕輕擦試汙染物，使其完全幹燥。

3、正確組裝電極（jí）。