小型石（shí）英等離子清洗機（jī）安裝與操作說明

小型（xíng）石英等離子（zǐ）清洗機設備安裝與操作使用說明如下：

5.1初始安（ān）裝（zhuāng）時,遵循下列步驟：

第一步： 連接好等離子清洗機與真空泵之間的（de）真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

第二步： 接通供電電源和真空泵（bèng）電源,在此之前檢查所有按鈕必須處於複位狀態,同時檢查所供（gòng）電源插座的L、N、E的接線是否（fǒu）與機箱後的AC220V輸入插頭相一（yī）致，以免發生危險動作。

第三步： 第一次開機,不做其它操作，直接打（dǎ）開機體上紅（hóng）色電源開關、真空（kōng）泵（bèng）開關，輕輕推關腔門，然後按綠色啟動鍵（jiàn）抽真空，目的是去潮除濕，同時檢查是否（fǒu）有漏氣部位：聽漏氣聲響；拉動真空倉門（mén）是否密封；觀察壓力表到達-100Kpa左右（yòu）；若無上述狀況即為正常

第（dì）四步： A、打開電源，先在顯示屏裏設定清洗時間；

B、將托盤承載的產品放入反應室內；

C、輕推反應腔門，按麵板上綠色（sè）啟動開關，真空（kōng）泵（bèng）開始工作。

D、壓力表真空值-101KPa左右，看（kàn）到離子（zǐ）輝光放電現象，進（jìn）入處（chù）理狀態；同時可（kě）設定功率大小、反應氣體注入量（liàng）；（反應氣體是根據（jù）工藝（yì）需求選配，不使用時鎖緊關閉，）

5.3 使用（yòng）操作步驟

5.3.1 自動狀（zhuàng）態下運行處（chù）理

（圖5.3.1主機界麵）

（圖5.3.2功能畫麵）

（圖5.3.3參數畫麵）

1. 進（jìn）入“主機界（jiè）麵”（圖5.3.1主（zhǔ）機界麵），點擊“下一頁”進入“功能畫麵”（圖5.3.2功能畫麵）選擇“參數頁（yè）麵”（圖5.3.3參數畫麵）修改清洗時間或清除清洗數據。

2. 點擊“下（xià）一頁”進入（rù）“手動頁麵”將氧氣氬氣閥門（mén）設置為打開狀態，返回主機界麵。

3. 調節功率（lǜ），功率調節（jiē）範圍80%-100%，根據實驗需求進行調節。

4. 將被（bèi）處理物放置真空腔內，關好腔門，按下啟動按鈕，開始抽真空。

5. 待（dài）腔體產生輝光，根據實（shí）驗需求，手動調節（jiē）流量（liàng）計旋鈕添加輔助性氣體。

6. 到達處理時（shí）間後，平衡閥自動複原，3秒左右恢（huī）複常壓（yā），無（wú）進氣聲響時，腔門自動打開。

7. 打開腔門，取（qǔ）出被處理物，一個處理過程結束。

____以上各命令都可在鍵下終止，回（huí）到複位狀態。所有（yǒu）數字量都可自由調整（zhěng），確認鍵後記憶保（bǎo）存，斷電（diàn）不丟（diū）。

5.4手動狀（zhuàng）態下運行處理

（5.4.1手動狀態下操作頁麵）

1. 調節功率（lǜ），功率（lǜ）調節範（fàn）圍（wéi）80%-100%，根據（jù）實驗需求進行調節。

2. 將被處理物體（tǐ）放置到倉內，關好倉門，按下啟動鈕，開始（shǐ）抽真空。

3. 真空度達到要求時，按下射頻電（diàn）源鈕（niǔ）（打開狀態為：黃色燈亮“開”），加入射頻高壓，處（chù）理（lǐ）過程開始。

4. 待腔體產生輝（huī）光，根據實驗需求，打（dǎ）開（kāi）氧氣氬氣閥門（mén）開關（打開狀態為：黃色燈亮（liàng）“開”），手動調節流量計旋（xuán）鈕添加輔助性氣體。

5. 到達處理時間後，複原平衡閥鈕，3秒左右恢複常壓，無進（jìn）氣（qì）聲響時，腔門自動（dòng）打開。

6. 打開腔門，取出被處理物，一個處理過程結束（shù）。

在手動狀態下，可設定氧氣閥、氬氣閥、真空泵（bèng）、射頻電（diàn）源、平（píng）衡閥（fá）的開關選擇，進行（háng）數據工作（zuò）。

5.5氣體使用注意事項：

①在觸摸屏的手動畫麵打開氣閥；

②腔內激發輝光後（hòu），再扭開流量計注入；

③兩路氣體，機（jī）體前麵板上的流量計與機體背麵的（de）氣孔口為對應一致接入工作；