影響等離子清洗機清洗效率的工（gōng）藝參數

等離子（zǐ）清洗機主要是通過氣體放電產生等離子體,其中包含電子、離子、自由基以及紫外線等高能量物質,具有活化材料表麵的作（zuò）用。例如,電子質量（liàng）小、移動速度（dù）快,可以先一（yī）步到達材料表麵並使其（qí）帶有負電（diàn）荷（hé）,同時對材料表麵產生撞擊作用,可促使表麵吸附的氣體分子解吸或分解,也有利於引（yǐn）發化學反應;材料表麵帶有負電（diàn）荷（hé）時,帶正電（diàn）荷的離子會加速向其衝擊,所產生的濺射作用會將表麵附著的顆粒（lì）性（xìng）物質除去;等離子體中自由基的存在對（duì）清洗作用具有非常重要（yào）的意義（yì）,由（yóu）於自由基易與物體表麵發生化學連鎖（suǒ）反（fǎn）應,產生新的（de）自由基或進一步分解,最後可能會分解成揮發性的小分子;而紫外線具有很強的光能和穿透能力,可透（tòu）過材料表麵深達數微米而產生作用,使表麵附著物質的分子鍵斷裂分解。

在使用等（děng）離子清洗機的過程中,影響清洗效率的參數主要有（yǒu）以下幾個方麵:

(1)放電氣壓:對於低壓等離子體,放電氣壓增加,等離子體密度（dù）越高,電子溫度隨之降低。而等離子體的清洗（xǐ）效果（guǒ）取決於其密度和電子溫度兩個（gè）方麵（miàn）,如密度越高清（qīng）洗速（sù）率越（yuè）快、電子溫度越高清洗效果越（yuè）好。因此,放電（diàn）氣壓的選擇（zé）對低（dī）壓等離子體清洗工藝至關重要。

(2)氣體種類（lèi）:待處理物件的基材及其表麵汙染（rǎn）物具有多樣性,而不同氣體放電所產生的等離子體清洗（xǐ）速度和清洗效果又（yòu）相差甚遠。因此應該有針對性地選擇（zé）等（děng）離子體的工作氣體,如可選（xuǎn）用氧氣（qì）等離子體去除物體表麵的的（de）油脂汙垢,選（xuǎn）用氫氬混合氣體等離子體去除氧化（huà）層。

(3)放電功率:放電功率增大,可以增加等離子體（tǐ）的密度和活性粒子能量,因而提高清洗（xǐ）效果。例如,氧氣等離子體的密度受放（fàng）電功率的影響較大（dà）。

(4)暴露時間:待清洗材料在等離子體中的暴露時間對其表麵清洗效果及等離子體工作效（xiào）率有很大影響。暴露（lù）時間越長清洗效果相對越好（hǎo）,但（dàn）工作效（xiào）率降低。並且,過長時間的清洗可能會對材料表（biǎo）麵產生損（sǔn）傷。

(5)傳動速度:對於（yú）常壓等（děng）離子體清洗工藝,處理大物件時會涉及連續傳動問題。因此待清洗物件與電極的相對移動速度越慢,處理效果越好,但（dàn）速度過慢（màn）一方麵影響工作效率（lǜ）,另一方麵也可能造（zào）成處理時間過長產生材料表麵損傷（shāng）。

(6)其他:等離子（zǐ）體（tǐ）清洗工藝中的氣體分配、氣體流量、電極設置等參數也會影響清洗效果。因此需要根據實（shí）際情況和清洗要求設定具體的、適合的（de）工藝參數。