空氣、氬氣、氮氣、氧氣、氫氣、四氟化碳plasma清洗（xǐ）...

等離子清（qīng）洗機常用的氣體有普通的空氣、氬氣、氮氣、氧氣（qì）、氫氣、四氟化碳等等，每種氣體都有自己的特性，這裏我一一給大家做一做講解 

氬氣是一種無色無臭（chòu）的惰性氣體，通過高壓氣瓶運輸和存儲，在工業中經常應用於金（jīn）屬的電弧焊接和切割保護。

氬氣是一種惰性氣體，電離後產生的離子體不會與基材發生化學反應，在等離子清洗中主要被應（yīng）用於基材表麵的物理清洗（xǐ）及表麵粗化，最大的特點就是在表麵清洗中不會造成精密電子器件的表麵氧化。正因（yīn）如此，氬等離子（zǐ）清洗機（jī）在半導體、微電子、晶圓製造等行業被廣泛（fàn）應用（yòng）。

氬氣、氦氣、氮氣（qì）等都是非反應性氣體。氮等離子體處理可以提高材料的硬度和耐磨（mó）性。氬和氦性質穩定，放電電壓低(氬原子電離能（néng）E為15.57eV)，容易形成亞穩態原子。當然等離子清洗機一方麵利用其高能粒子的物理作用清洗容易氧化或還原的物體，Ar+轟擊汙垢形成揮發性汙（wū）垢，用真空泵抽走，避免（miǎn）了表麵物質的反（fǎn）應；另一方麵（miàn），亞穩原子容易利用氬形成，然後與氧和氫分子碰撞時發生電（diàn）荷轉換和結合，形成氧氫活性原子作用於物體表麵

氫氣屬於（yú）不穩定氣體，主要用於還原，清洗掉金（jīn）屬表麵的氧化物。四氟化碳是一種無色無味的氣體，無毒、不燃，但在高濃度時具有麻醉作用，所以（yǐ）在（zài）工業應用時儲存的容器為專用高壓（yā）氣瓶，所使（shǐ）用的減壓閥也為專用減壓閥。

四氟（fú）化碳在被等離子清洗機電離後會產生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相（xiàng）等離子體，能夠對各種（zhǒng）有機表麵實現刻蝕及有機物去除，在晶圓製造、線路板製造、太（tài）陽能電池板製造等（děng）行業中被（bèi）廣泛應用，在晶圓製造行業中光刻機利用四氟（fú）化碳氣體進行矽片的線（xiàn）路刻蝕，等離子清洗機利用四氟化（huà）碳進行氮化矽（guī）刻蝕及光刻膠去（qù）除。

大氣壓（yā）等離子就是（shì）常壓等離子，通常有三種效（xiào）果模式可選。一是選用 氬氣/氧氣 組（zǔ）合，主要麵向非金屬材料並且要求較高的表麵親水效果時采用（yòng），比如玻璃，PET 材料等。 二是選用 氬氣/氮氣 組合（hé），主要麵向各種金屬材料，如金線、銅線（xiàn）等。因氧氣的氧化作用，替換為此方案中的氮氣後，該問題可（kě）以得到有效控製。三是（shì）隻（zhī）采用壓縮空氣的情（qíng）況，隻采用壓縮空氣也可以實現表麵改性，並且也是常見的一種處理辦法，處（chù）理很（hěn）多材料表麵都是使用壓縮空氣直接（jiē）處理（lǐ）。此為特殊情況，是（shì）少數工業客戶需要有限而均勻（yún）的表麵改性（xìng）時采用的方案（àn）。

 安全易用。大氣壓式等離子，也是低溫等（děng）離（lí）子（zǐ），不會（huì）對材料表麵造成損傷，例如（rú）對方阻（zǔ）值敏感的材質亦（yì）可處理。無電弧，無需真空腔體（tǐ），也無需廢氣（qì）排放係統，長時間使用並不會對操作人員造成身體損害。

麵（miàn）積寬大。大氣壓（yā）等離子最大可以處理2m寬的材料，可以滿足現有多數工業（yè）企業（yè）的需求。

成本（běn）低廉。大氣壓等離子設備功耗低，運行成本以氣體為（wéi）主。

大氣壓等離子清洗（xǐ）機就是常壓等（děng）離子清洗機，按照噴頭分類，可以分成為旋噴等離子清洗機和直噴等離子清洗（xǐ）機（jī），直（zhí）噴機能量高，通常（cháng）用來處理點和線狀區域，旋噴等離子清洗機用來處理的地方比（bǐ）較寬，而且噴頭大小可以定做到 直徑10cm以上，多個（gè）噴頭同時使用（yòng）可以處（chù）理很寬的區域。從廣（guǎng）義上麵來說（shuō），電暈機其實也是（shì）等離子清洗機，通常也是用（yòng）大氣處理（lǐ）。 

實（shí）際（jì）工作過程中，為了保證最好的清洗效果，常常多種氣體使用，比如先用氫氣還原，然後用氧氣或者混合氣體使（shǐ）用處理，而且會對清（qīng）洗的時間，通入的氣體量也會（huì）做調（diào）整。當然，如果你有材料處理，請聯係7799天天看影视的技術，發材（cái）料過來，7799天天看影视來給你做測試，以達到最佳的清洗效果（guǒ）。