東（dōng）信高科真空等離子清洗（xǐ）機係統維護（hù）及保養

東信高（gāo）科等離子清洗機係統維護及保（bǎo）養手冊

9.3.1檢查真空係統油（yóu）泵和鼓風機

許多與（yǔ）真（zhēn）空係統相關的問題都出自真空泵油。為了確認（rèn）它在一個適當的水平和是否無汙染，定（dìng）期檢查石油水平是非常有必要（yào）的。髒和石油不足都會導致較差的（de）真空泵性能。汙油也會（huì）性能（néng）降低。

一些等離子體（tǐ）的（de）處理可（kě）能會造（zào）成更大（dà）程度的泵油汙染，因此額外的（de）個人防護設備是（shì）有（yǒu）必要的。

泵油應該被更換至少一年一次，如果機器得到大量使用，這將造成大量的汙油（yóu），因此泵（bèng）油盡可能的每兩個（gè）月更換一（yī）次，並且泵油要每個月至（zhì）少檢查一次。

檢（jiǎn）查泵（bèng）油,執行（háng）下麵的步驟:

1.關掉裝置

2.打開前門

3.定位泵油位窺鏡（jìng）,並確保石油水平在最大值（zhí）和最小值之（zhī）間。

注意：泵油是一種對皮膚和眼睛的刺激物，在更換泵油的時候要注意個人防護措（cuò）施。

更換泵油,執行下麵的（de）步驟:

1.等待15分鍾是泵油稍微冷卻然後操作，泵油（yóu）不可過（guò）冷，不然會不好（hǎo）移除。

2.排泄石油壓強（qiáng），使之達到標（biāo）準大氣壓（yā）強

3.斷開泵油係統，用幹氮清除泵內殘留有毒或含腐蝕性氣體。

4.向泵油塞方向傾斜

5.旋鬆排油管,瀉油。

6.安好泵塞運行泵大約10秒鍾（zhōng），打（dǎ）開（kāi）進氣口這會使泵油從泵中（zhōng）移除。

7.再次通過移除塞瀉油。

8.換好新的泵油然後（hòu）上好（hǎo）泵塞。

注意：換油時一定要關閉等離子體（tǐ）係（xì）統電源（yuán）。

9.3.2 檢（jiǎn）測真空（kōng）泄漏

真空泄漏常常（cháng）可以發現通過使用異丙醇。通過擦洗揮（huī）發（fā）性液體檢查可疑部件，真（zhēn）空泄露會吸入蒸（zhēng）汽從而導（dǎo）致顯示麵板上壓力增大，增加5毫托或更多的（de），表示存在一個錯誤的真空組件或連接。檢測小泄漏保持流動的異丙醇的組件或連接約10是有必要的。小泄漏將不會顯示快速變（biàn）濕，流動的異丙醇應該覆蓋在整個相關組件上，當使（shǐ）用異丙（bǐng）醇是應避免接觸任何有標簽的部位，因為可能會導致刻字消失

9.3.3清（qīng）洗反應室

使用者應該每天檢查任（rèn）何汙垢和外來物質。

當清洗機室時使用手套（tào）和保護眼睛

警告:清洗機（jī）室後,總是產生純氬或氧等（děng）離子體應該在高（gāo）功（gōng）率下消除至少15分鍾確保（bǎo）清潔室無視覺跡象

1.泵室（shì）減（jiǎn）少到最（zuì）低可以達到的壓力並且記錄（lù）數據。

2.在4000瓦和300毫托條件下（xià）生成氧等離子體15分鍾

3.在4000瓦和250毫托條件下生成氧等離子體15分鍾

4.泵室第二次減少到最低可以達到的壓力並（bìng）且記錄數據，比較這個值和第一個值，一個顯著減少在兩比較之間則暗示清潔室發生了故障在等（děng）離子機運（yùn）行工作時。

5.重複這個過程,直到沒有明顯區別是指出最低基地壓力從一個測試值到下一個。

注意：使用CF4或類似的（de）氣體會引起塗（tú）料（liào）的反應室和它的組件與這些氣體（tǐ）的副產品，當使用這些類型的氣體處理等離子機時，清洗方案必須經常重（chóng）複直至刪（shān）除（chú）副產品，因為他（tā）們將很容（róng）易再沉積到幹淨的表麵。

9.3.4  檢查真（zhēn）空裝置的完整性

有必要定期檢（jiǎn）查（chá）真（zhēn）空係（xì）統的（de）完整性，這（zhè）種檢查應該在徹（chè）底的清洗反（fǎn）應室之後，以避免汙染物或者真空脫氣泄（xiè）露。

手動檢查步驟：

1.在主（zhǔ）菜單中,按手（shǒu）動模式按鈕來選擇手動模式

2.在手動（dòng）模式屏（píng）幕,按下真空開/關按鈕打開真空閥（fá）室

3.觀察基礎氣壓，讀取（qǔ）列表在（zài）屏幕右邊，在5分鍾內它應該低於100毫托。

4.等（děng）20分（fèn）鍾,使任何殘留的水分退出係統。

5.記錄最終的壓力。

6.按下真空開/關按鈕來關閉真空閥到室。

7.觀察基礎壓力。

如果係統沒有真空密閉的，壓力值會慢慢上升，根據泄露比例係統壓力上升不會超過30豪托每分（fèn）鍾。

為（wéi）了（le）確保（bǎo）最佳性能和係統的優良性能，應該成功的運行真空係統進行檢測，如果（guǒ）任何不（bú）符合點被（bèi）檢查出，應該及（jí）時檢查室墊圈（在塑（sù）料（liào）門附近）。有時灰塵和汙染（rǎn）物覆蓋在墊片（piàn）上，也要檢查連接在（zài）裏麵的電子內閣是否有明（míng）顯的損壞或泄露。

9.3.5 檢查輸氣管道完整性（xìng）

確定氣線的完整性，隻需打（dǎ）開氣瓶的閥，並很快再次關閉它（tā）。如果壓力讀數在一分（fèn）鍾內調節值，有大量泄（xiè）漏，可能是危險的。

9.3.6 檢查電源連接

所有的等離子體係統的運作，利用雙浮（fú）動功率輸出（chū）每個輸出總線電極的母線（xiàn）連接電極是由一個不鏽鋼夾和一個M –4螺釘，螺釘應定期檢查密封性保證電極的（de）母線（xiàn）連接的安全性

9.3.7清洗風機過濾器

風扇和過（guò）濾器，位於係統的頂部和（hé）底部，保護係統，需要定期清洗去除灰塵和皮棉。堵塞的過濾器，會導致熱量積聚。

清潔過（guò）濾器執行以下步驟：

1.通過拆除四個螺絲分離過濾器的風扇。

2.用壓縮空氣吹洗過濾器，如果過濾器非常髒，需要（yào）用肥皂水清洗然後用壓縮空氣（qì）吹洗。

3.更換墊（diàn）片和（hé）過濾器，確保螺絲孔窩，突出的屏幕的一側是朝外。（過濾器應被檢查清（qīng）洗每月（yuè）一次，這個（gè）任務（wù）可能在大約（yuē）二十分（fèn）鍾。技術（shù）援助或更換零件，請聯係等離子體係統的客戶服務部）。

9.3.8檢查室門墊圈

保持性能良好的真空反應室（shì），室門墊（diàn）圈是（shì）必不（bú）可少的

警告:潛在的燃燒危險（xiǎn）!

警告:反應室墊圈會導（dǎo）致係統真空泄（xiè）漏。當檢查有任何裂紋或碎片在密封表麵和外部密封焊道裏麵。請及時更換。這個墊（diàn）圈的平均壽命是8到（dào）12個月。

檢（jiǎn）查室墊片,執行下麵的步驟:

1 從反（fǎn）應（yīng）室小心的把（bǎ）墊片移除下來（lái）。

2 拉開（kāi）雙方檢查裂縫內密封表麵。如果有裂縫（féng）,無論多（duō）麽（me）小,都要更換密封墊。

3 檢查在外麵密（mì）封焊道上是否有裂（liè）縫（féng）。如果有（yǒu）發現（xiàn）,更換密封墊。

4 檢查墊圈外是否有破碎小顆粒。如（rú）果有必須清洗墊圈。墊圈可以用溫肥皂水清洗後，再使用酒精進行一個徹底的清洗。

5 檢查墊圈是（shì）否有惡化症狀。這是一種粉狀物（wù）質,通常在表麵的墊（diàn）片。重度（dù）惡化（huà）會使墊圈（quān）會變（biàn）得（dé）脆（cuì）弱。這些表明,矽橡膠（jiāo）被破壞了。墊圈（quān）可以清洗(第4步中所述) 隻要不存在裂縫（féng）可以一直使用。

9.3.9 觀察窗口/ 機器維（wéi）護

觀察窗口由玻璃製成(12.7毫米厚)。如它需要更換時請聯係東信高科工程（chéng）技術人員。

9.3.10 射頻發生器維護

定期檢查後麵的裝置是否有灰塵或被（bèi）腐蝕。

每六(6)個（gè）月檢查一次是否有鬆（sōng）散的電氣（qì）連接。

9.3.11 電極維護

1 電極是一個有磨損項目。適當的維護，可（kě）以使電極的壽命擴展到最大的預期使用。

2 當漿水用於處理烴類原料，薄塗層殘留往往（wǎng）停留在電極一段時間。在早期階段，這種塗層不影響運（yùn）行的設備和最後（hòu）的產品。但在在連續操作下，微妙但重大的變化可以被檢（jiǎn）測到

3 確保正確（què）操作設備，7799天天看影视建議（yì）電極每6月或1000小（xiǎo）時（shí）操作就進行一次汙染處（chù）理。使用以下過程（chéng），消除汙染不影響電極的性能。

材料要求

氫氧化鈉

硫酸

蒸餾水

注意：這（zhè）些（xiē）材（cái）料腐蝕性，有毒和危險。

隻有經過適當的安全預防措施的有相應的訓練的人員才能進行處（chù）理。不要使用任何機械（xiè）清潔電極，如鋼絲刷（shuā），砂紙（zhǐ），或研（yán）磨拋丸這將（jiāng）導致泄漏和/或縮短他們的生命。

清潔電極:

1、確定每個電極下負極，使它們可以被安裝在正（zhèng）確的位置（zhì）

2、取（qǔ）出電極，輕輕擦試汙染物，使其完全幹燥。

3、正確組裝電極（jí）。