ITO玻璃在線等離子清洗機處理介紹

氧化銦錫 (ITO) 膜導電玻璃由於具有高的可見光透射比和電導（dǎo）率, 而（ér）被用作液晶顯示 (LCD) 等平板顯示器的透明導電電極。利用直（zhí）流或射（shè）頻磁控反（fǎn）應濺射技術, 通過光譜法控製ITO膜沉（chén）積速率, 能夠獲得均勻一致的可見光透射比和電（diàn）導率的ITO膜導電玻璃。然而要生產（chǎn）出（chū）高質量的LCD, 還要求ITO膜層針孔少, 表麵無顆粒, 膜層粘附力強。如果表麵有顆粒、大麵積針孔或粘附力不（bú）強而脫落（luò）, 將會在液晶顯示屏上出現暗點或暗斑, 嚴重影響（xiǎng）LCD的質量。用常規（guī）清洗烘幹處理玻璃基片, 很難（nán）徹（chè）底（dǐ）清除吸附（fù）在表麵的異物。又由於在運（yùn）輸、搬運過程中其表麵仍暴露在大氣中, 難（nán）免會吸附上環境氣體、水汽和微塵, 如果不（bú）加處理, 會造成膜層與基片結合力不強、產生（shēng）針（zhēn）孔和顆粒。通過在線等離子清洗機處（chù）理基片（piàn）上吸附的環境氣體、水汽和汙（wū）物, 同時使基片表麵活化, 增（zēng）強ITO膜與（yǔ）基片表麵的結合力, 從而大大提高了（le）ITO 膜導電玻璃的質量。

薄膜附著在基片上是薄膜與（yǔ）基片（piàn）相互作用的結果, 它是（shì）一（yī）個複雜的界麵物理和界麵化學的（de）綜合問題。附著力是表示薄膜對基片附著程（chéng）度的量。常用來解釋（shì）產生附著力原因的有:範德華力（lì）, 擴散（sàn）附著力, 機械（xiè）鎖合力, 靜電力和化學鍵力。範德華（huá）力是薄膜和基片之間相互極化產生的, 隻要二原子或分子之間的距離足夠小, 就會產（chǎn）生範德華力, 它是一種普遍存在的力。擴散附著力是薄膜與基（jī）片原子在界麵處相互擴散, 形成（chéng）一個漸變（biàn）層界（jiè）麵而產生的附著力。機械鎖（suǒ）合力（lì）是指在沉積薄膜時, 薄膜原子或分子（zǐ）進入基片表麵的微觀凹坑、孔隙中, 形成釘、鉤、鉚等機械鎖合力。靜電力是由於薄（báo）膜與基片之間電荷轉移而在界麵上形（xíng）成雙電層的靜電相互作用力。化學鍵力不是普遍存在的, 隻有在（zài）薄膜與基片界麵（miàn）發生化合作用產生化學鍵時, 才會有化學鍵力（lì）。

當玻璃（lí）基片處在等離子體中時（shí）, 由於表麵受到等離（lí）子體中的荷能粒 (電) 子的 轟擊, 首（shǒu）先基片表麵吸（xī）附的環境氣體、水汽、汙物等被轟掉, 使表麵清潔活化, 表麵能提高, 當沉積時（shí）薄膜原子或分子更好地（dì）浸潤基片, 增大範德華力。其次玻璃基片表麵經過荷能粒 (電) 子的撞擊, 從微觀上看, 基片表（biǎo）麵會形成許多凹坑、孔隙, 在沉積過程中薄膜原子或分子進（jìn）入這些凹坑、孔隙, 便產（chǎn）生了機械鎖合力。此外基（jī）片表麵的粗化, 使（shǐ）實際（jì）的表麵積增大, 這對（duì）增大範德華力、擴散（sàn）附著力和靜電力都是有利的, 因此增大了總（zǒng）的附著力。

經過等離子體處理後, 基片表麵清潔活化, 表麵能提（tí）高, 如果暴露在大（dà）氣中, 將很容易重新吸附上環（huán）境氣體分子、水汽和汙物等形成二（èr）次汙染。因此, 將等離子體清洗設計成在線式是（shì）必要的。即等離子體清洗和薄膜沉積是在一條連續的生產線（xiàn）上, 在真空的（de）環（huán）境中傳送玻璃基片。

等離子體清洗形成（chéng）的微（wēi）觀（guān）粗化表麵是原子或分（fèn）子級的。從宏觀上看, 基片表麵去除水汽（qì）、汙物後, 更加（jiā）平整和均勻。沉積上ITO膜後, 可獲得更加均勻一致的（de）可見光透射比和電導率。

結論

在線式等離（lí）子清洗機處理, 不僅有效（xiào）地去除掉吸附在玻璃基片（piàn）上的環境氣體分子、水汽和汙物, 在基片表麵形成清潔活化的微觀粗（cū）糙麵, 而且還避免了二次汙染, 使沉積（jī）薄膜的（de）附著力比未經等離子體處理的提高了3.5倍, 同時也提（tí）高ITO膜的透光和導電性能。在線式等離（lí）子清洗機在ITO膜透明導電玻璃連續生產線上已（yǐ）經獲得了大量（liàng）應用。