等（děng）離子體種類介（jiè）紹

等離子體作為一種高新技術，人們通俗地稱其為“物質的第（dì）四態”。等離（lí）子體是由許多能夠流動並且帶電的粒子構成的物質（zhì）係統。人們對等離（lí）子體比較陌生，是（shì）因為在平時人們很難接觸到等（děng）離子體，因為一般情況下，大多數物質以固態、液態及氣態三種形（xíng）式存在。但（dàn）實（shí）事上，地（dì）球上99%的物質都是以等離（lí）子體狀態存（cún）在的，因為地球被電離層所包（bāo）圍。在實（shí）驗室中（zhōng）運用不同（tóng）的氣體放電（diàn）方式（shì）也能產生等離子體。一般情況下（xià）用於新材料（liào）表麵改（gǎi）性或合成新材料的等離子體，通常是由低氣壓放電產生的。

按溫度分類：高溫等離（lí）子體和低溫等離子體

高溫等離子體是高（gāo）於10000℃的等離子體，如聚變、太陽核心。高溫等離子體中的粒子溫度T> 108-109K，粒子有足夠的能量相互碰撞，達到了核聚變反應的條件。

低溫等離（lí）子體又分（fèn）為熱等離子和冷等（děng）離子體兩種。

熱等離子體是稠（chóu）密氣體在常壓或高壓下電弧放（fàng）電或高頻放電而產生的，溫（wēn）度也在上千乃至數（shù）萬開，可使分子、原子離解、電（diàn）離、化合等。

冷等離子體的溫（wēn）度在100-1000K之間，通常是稀（xī）薄氣體在低壓（yā）下通過激光、射頻或微波電（diàn）源發輝光放電而產生的。

低溫等離子體通常是由氣體（tǐ）放（fàng）電的方式產生。氣體的放電方式一般有如下幾種：輝光放（fàng）電、電（diàn）暈放電、介質阻（zǔ）擋放電、射頻放電和（hé）微波放電。

在等離（lí）子體中，不同微粒的溫度（dù）實（shí）際上是不同的（de），所具有的溫度是（shì）與（yǔ）微粒的動能即運動速度質量有關，把等離子體中存在的離子的溫（wēn）度用Ti表示，電子的溫度（dù）用Te表示，而（ér）原子、分子或原（yuán）子團等中性粒子的溫度用Tn表示，對於Te大（dà）大高於（yú）Ti和Tn的場合，即低壓體氣的（de）場合，此時氣體的壓力隻有幾百個帕斯卡，當采用直流電壓或高頻電壓做電場時，由於電子本身的質量很小，在電池中容易得到加快，從而可獲（huò）得平均可達數電子伏（fú）特（tè）的高能量，對於電子，此能量的對（duì）應溫度為幾萬度（K），而弟子由於質（zhì）量較（jiào）大，很難被電場加速，因此溫度僅幾千度。由於氣體粒子溫度較低（具有低溫特（tè）性），因此把這種等離子體稱為低溫等離子體。當氣體處於高壓狀態並從（cóng）外界（jiè）獲得大量能量時，粒子之間的相互碰撞頻率大大增加，各種微粒的溫度基本相同，即Te基本與Ti及Tn相同，7799天天看影视把這種條件下得到的等離子體稱為高溫（wēn）等離子體，太陽（yáng）就是自己界中的高溫等離（lí）子體。由於高溫等離子體（tǐ）對物體表（biǎo）麵的作用過（guò）於強強烈，因此在實際應用中很少使用，目前投入使用（yòng）的隻有（yǒu）低溫等（děng）離子體。

按（àn）照產（chǎn）生（shēng）氣體分類（lèi）：活潑氣體和不活潑氣體等（děng）離（lí）子體

活潑氣體和（hé）不活（huó）潑氣（qì）體等離子體，根據產生等離子體時應用的氣體的化學性質不同，可分（fèn）為不（bú）活潑氣體等離子體和活潑氣體等離子體（tǐ）兩類，不活潑氣體如氬氣（Ar）、氮氣（N2）、氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）等（děng），活潑氣體如氧氣（O2）、氫氣（H2）等，不同類型的（de）氣體在清洗過程中的反應機理（lǐ）是不同的，活潑氣體（tǐ）的等離（lí）子體具有更強的化學反應（yīng）活性（xìng）。