真空等離子清洗機工（gōng）作流程及等離子體與材料表...

真空等離子清洗機一（yī）般有真空室、真空泵、高頻（pín）電源、電極、氣（qì）體導（dǎo）入係統、工件傳送係統和控（kòng）製係統等部分組成。

真空等離子清洗機工作流程如下：

1、被清洗的工件（jiàn）送入真空室並加以固定，設置工作參數，啟動（dòng）運行裝置，開始抽真空，是真空室內的真空程度達（dá）到10PA左右的標準（zhǔn）真空度。

2、向真空室引入等（děng）離（lí）子清洗用的氣體，並（bìng）使其壓力保持（chí）在100Pa。根（gēn）據清洗材質的不同，可分貝選用氧氣、氫氣、氬氣、或氮氣等（děng）氣體。

3、在真空室內的電極和接地裝置之間（jiān）施加高頻電壓，使氣（qì）體被擊穿，並通過輝光放電而發生離子化和產生等離子體。讓在（zài）真空室產生的等離（lí）子體完（wán）全籠罩在被處理工（gōng）件，開始清洗作業。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鍾（zhōng），看（kàn）材質和需求。

4、清洗完畢後（hòu）切斷（duàn）高頻電壓，並將氣（qì）體及氣化的汙垢通過真（zhēn）空泵抽走排除。

等離子體和工件表（biǎo）麵具體作（zuò）用如下：

等離（lí）子體和工件表麵的化學反（fǎn）應和常規化學反應（yīng）有很大不同，由於高速電子的轟擊，很（hěn）多在常溫下（xià）很（hěn）穩定的氣體或蒸汽都可以以等離子體的形式和工件表麵反應，產生許多奇特的（de）、有用（yòng）的效果；

清洗和刻蝕：例（lì）如，在（zài）進（jìn）行清洗時，工（gōng）作氣體往往用氧氣，它被（bèi）加速（sù）了的電子轟擊成氧離子（zǐ）、自由基後，氧化性極強。工件表麵的（de）汙（wū）染（rǎn）物，如油脂、助焊劑（jì）、感光膜（mó）、脫模劑、衝床油等，很（hěn）快就會被氧化成二氧化（huà）碳和水，而（ér）被真空泵抽走，從而達到清潔（jié）表麵，改善浸潤性和粘結（jié）性的目的（de）。低（dī）溫等離子處理（lǐ）僅涉及材料（liào）的表麵，不會對（duì）材料主體的性質產生影響。由於等離子體清洗是在高真空下進行的，所以等離子（zǐ）體中的各種（zhǒng）活（huó）性離子的自由程很長，他們的穿透和滲透力很強，可以進行複雜（zá）結構的處理，包（bāo）括細（xì）管和盲孔。

引入官（guān）能（néng）基團：高分子材料用N2、NH3、O2、SO2等（děng）氣體的（de）等離子體處理，可以改變表麵的化學組成，引入相應新的官能基團：-NH2、-OH、-COOH、-SO3H等。這些官能團可使聚乙烯，聚丙烯（xī），聚苯乙烯，聚四氟乙烯等這些完全惰性的基材變成官能團材料，可以提高表麵極性，浸潤性，可粘結性，反（fǎn）應性，極大地提高了其使用價值。與氧等離子體（tǐ）相（xiàng）反（fǎn），而（ér）經含氟氣體的（de）低溫等離子體處理，可在基材表麵引入氟原子，使（shǐ）基材具有憎水性。

聚合：很多乙烯基單體，如，乙烯、苯乙烯、都（dōu）可以在等離子體條件下，不要其他任何催化劑和引（yǐn）發劑而在工件表麵（miàn）實（shí）現，聚合，甚至甲烷，乙烷，苯這（zhè）些在常規聚合條件下不能聚合的（de）物質，都可以在等（děng）離子體條件下在工件表麵實現（xiàn）交聯聚合。這種聚合層可以達到非常致密，並且和基材（cái）結合的（de）非常結實。在（zài）國外（wài）塑料啤酒瓶和汽（qì）車油箱（xiāng）就采用等（děng）離子（zǐ）體聚合上這樣一層致（zhì）密層，用（yòng）以防治微量的（de）泄露。高分子的生物醫學材料表麵也可以通過這種致密層阻止塑料中的增塑劑等有毒物（wù）質向人（rén）體組織中擴散。