產品參數：
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電源係統 |
功率 |
F13.56MHz 0-600W （射頻電源） |
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真空係統 |
真空管路 |
全不鏽鋼管（guǎn）路，以及高強（qiáng）度真空波紋管 |
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材質 |
鋁合金 |
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密封（fēng）性（xìng） |
一體成型 |
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腔體體積 |
6L |
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適用產品尺寸（cùn） |
180-280mmX25-90mm(長x寬) |
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適（shì）用料盒尺寸 |
180-290mmX25*93X250mm(長X寬X高) |
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通道數量 |
標準4條（可定製） |
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電極板大小 |
340x500mm |
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等離子激發時間 |
等離子激（jī）發清洗時間 |
5Sec |
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產量 |
UPH |
480（蛇皮（pí）時間（jiān）10S，4條流道時（shí）） |
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清洗能力 |
水滴（dī）角（jiǎo） |
水滴角測試＜12° |
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流量（liàng）範圍 |
0-300SCCM |
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工藝氣（qì）體 |
標配2路，可定製 氬氣： 3bars 1L/min 氮氣 : 3bars 1L/min |
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其它參數 |
電源 |
AC 380V 5.5KW |
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外形（xíng）尺寸 |
1600mmX1200x1600 |
產品（pǐn）特點：
1、軌道寬度可調，可選擇（zé）同時清（qīng）洗四種不（bú）同寬（kuān）度的產品；
2 、片式清洗，清洗效果更明顯；
3 、單邊上下料結構（gòu），無需更換料盒，清洗後的產品自動回到原來的料盒，杜絕混批；
4、 雙清（qīng）洗托盤（pán），一個清洗的同時另一個備（bèi）料，提高生產效率；
5 、一鍵更換（huàn）產品，設備所有參數及設置自動加載，無需（xū）人工設定；
6、手動清洗與自動清洗均一鍵操作，操作使用更簡單；
7、 產品安全多重設計，確保不會造成產品變形損壞；
8 、四條通道每個地方獨立檢測（cè），準確判斷問題所在；
9 、設（shè）備安全多重設計，確保（bǎo）人身安全；
10、 模塊化設計，國際品牌配置，確（què）保設備穩定運行。
