真空等離子(zǐ)清洗機(jī)產品參數表:
型號 | 真空等(děng)離(lí)子清洗機TS-PL180L |
外形尺寸 |
W1200mm×D1200mm×H1730mm |
真空(kōng)腔尺寸 |
W500mm×D600mm×H600mm |
腔體材質 | 316不鏽(xiù)鋼 |
極板數量 | 9 |
等離子體發(fā)生器 |
RF 13.56Mhz /40Khz |
功率 | 0~1000W可調 |
控製方式 | PLC+觸摸屏 |
真空泵 | 幹泵/油泵可(kě)選 |
電源 | AC 380V |
真空等離子清洗機產品特點:
進口(kǒu)不鏽鋼316材質真空腔體:軍(jun1)工級別密封,避免(miǎn)氣體(tǐ)泄(xiè)露,又實現高效卓越的真空度,為等(děng)離子體創造極佳的反應條件(jiàn)。
自主研發等(děng)離子體控製係統: 可根據腔體環境精準控製(zhì)等(děng)離子體發生時間和反應強(qiáng)度,可進行多步工藝流程處理,采(cǎi)用歐姆龍、施(shī)耐德等進口品牌電器元件, 有手動(dòng)、自動兩種控製模式,10.7”真彩觸摸屏,可編程控製器,可在線設定、修改、監控真空壓力、處理時(shí)間、氣體流量、等離子功(gōng)率等工藝參數,並具(jù)有故(gù)障報警、工藝存儲、密碼鎖定、係統維護等多種功(gōng)能。
高精度氣體流量監測係統(tǒng),兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣),雙路氣流控製,比(bǐ)例可調,采用高精度電(diàn)子質量流量計及閥件。
強(qiáng)大的全麵安(ān)全防(fáng)護係統:溫度安全防護功能,過(guò)載防護功能,短(duǎn)路斷路報警防護功能,非法操作提示、清潔結束提示,各種誤操作保護功能等。
處理全程無汙染 ,等離子清洗機本身是很環保(bǎo)的設備,無產生任何汙染,處理過程也無產生任何(hé)汙染。可以與原有生(shēng)產流水線搭配,實現全自動在線(xiàn)生產,節約人力成(chéng)本(běn)。
真空等離(lí)子(zǐ)清洗機工作原理:
真空等離子清洗機產生等離子(zǐ)體的(de)裝置是在密(mì)封(fēng)容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性(xìng)很(hěn)高,其能量足以破壞幾乎所有的(de)化學鍵,在任何暴露的表麵引起(qǐ)化學(xué)反應(yīng),不同(tóng)氣體的等離子體(tǐ)具有不同(tóng)的化學性能,如氧氣的等離(lí)子體具有很高的氧化性,能氧化(huà)光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離(lí)子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。利(lì)用等離子處理時會發出輝光,故稱之(zhī)為輝光放電處理。
等離子體主要是通過(guò)氣體放電產生,其中包含電子、離子、自由基以(yǐ)及紫外線(xiàn)等(děng)高(gāo)能量物質,具有活化材料表麵的作用。例如,電子質量小、移動速度(dù)快,可以先一步到達材料表麵並使其帶有負電荷,同時對材料表麵產(chǎn)生(shēng)撞擊作用,可促使表麵吸附的氣體分(fèn)子解吸或(huò)分解,也有利於引(yǐn)發化學(xué)反應;材料表麵帶有負電荷(hé)時,帶正電荷的離子會加速向其衝擊,所產生的濺射作用會將表麵附著的顆粒性物質除去;等離子體中自由基的存在對清洗(xǐ)作用具有非常重要(yào)的意義,由於自由基易與物體表麵發生化學連(lián)鎖反應,產生新(xīn)的自由基(jī)或進一步分解,最後可能會分解成揮發性的小分(fèn)子;而紫外線具有(yǒu)很強的(de)光能(néng)和(hé)穿透能(néng)力,可透過材料表麵(miàn)深達數微米而產生作用,使(shǐ)表麵附著物質的分子鍵斷裂分解。
售後服務:
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